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[其它] 半导体检测设备行业报告:半导体缺陷检测
说明:“半导体检测设备”中的“检测”是一个广义的感念。都称之为“检测”的设备 又可以进一步具体分为:狭义的检测(主要是 Defect Inspection & review)、测量 (Metrology)以及测试(Test)。除去这三种工艺制程相关的“检测”设备外,在设 计验证阶段还有第三方检测公司,主要做芯片的失效分析。 四种设备都会含有“检测”或者“测试”的字眼,对产业不了解的情况下可能会 有所混淆。本系列报告将逐个拆解研究。 “检”:狭义检测(主要是 Defect Inspection)本篇重点<weixin_38501751> 在 上传 | 大小:1048576