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椭圆偏振光谱法研究Er2O3-Al2O3薄膜的光学常数
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文件大小: 588kb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-22
详细说明：Er（2）O（3）-Al（2）O（3）膜在室温下通过射频磁控管技术沉积在Si（001）衬底上。 分别在O（2）环境中将样品在450、600和750摄氏度下退火30分钟。 通过光谱椭圆偏光法研究了沉积样品和退火样品的光学常数。 适当的折射率值表明它可能是太阳能电池的有用材料。
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