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在大气气氛下应用激光和等离子体混合方法制备氮化钛
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上传时间: 2021-02-13
详细说明：在大气气氛下, 采用连续CO2激光和氮等离子体混合法(LPN)对工业纯钛样品表面进行处理, 获得了氮化钛膜层。用扫描电镜(SEM), X射线衍射(XRD)对样品的形貌和结构进行了表征, 结果表明在合适的条件下可以获得满意的氮化效果。在激光功率密度2.0×105～1.0×106 W/cm2, 扫描速度200～1000 mm/min的区间内, 激光功率密度越高, 扫描速度越低, 氮化效果越好。工业纯钛样品的氮化深度最佳可达80 μm。在有效氮化区域内, 氮含量随深度变化迅速, 而在过渡区域内, 氮含量变化缓慢。
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