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基于计算全息元件的大口径非球面透镜透射波前检测方法
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上传时间: 2021-02-12
详细说明：针对大口径非球面透镜透射波前检测, 提出了采用计算全息元件(CGH)作为光路相位补偿元件进行检测的方法。大口径非球面透镜透射波前通常采用球面干涉仪进行检测, 为了达到零位检测的目的, 在光路中往往需要加入相位补偿元件以补偿高阶像差(HOA)。传统的折射式相位补偿元件的精度溯源比较困难, 导致检测数据缺乏可信度。将CGH作为相位补偿元件可达到零位检测的目的。针对大口径非球面透镜的透射波前检测, 设计并加工了相应的CGH作为相位补偿元件, 并与传统的折射式补偿元件进行了对比测试。测试结果表明：两种相位补偿方法的测试数据具有良好的一致性, 峰谷(PV)值的差值为0.034λ(λ为检测光的波长), 均方根(RMS)值的差值为0.006λ, 因此CGH作为相位补偿元件具有相当高的测试精度。
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