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光谱型椭偏仪精确表征非晶吸收薄膜的光学常数
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上传时间: 2021-02-07
详细说明：采用光谱型椭偏仪(SE)和分光光度计分别测量了超薄类金刚石(DLC)薄膜和非晶硅(a-Si)薄膜的椭偏参数（y和D）和透射率T。由于薄膜的厚度与折射率、消光系数之间存在强烈的相关性，仅采用椭偏参数拟合，难以准确得到薄膜的光学常数。如果加入透射率同时进行拟合（以下简称SE+T 法），可简单、快速得到薄膜的厚度和光学常数。但随机噪声、样品表面的轻微污染或衬底上任何小的吸收都可能影响SE+T 法拟合的光学常数的准确性。因此将SE+T 法和光学常数参数化法联用，实现DLC、a-Si薄膜光学常数的参数化，以消除测量数据中的噪声对光学常数的影响。结果显示，联用时的拟合结果具有更好的唯一性，而且拟合得到的光
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