文件名称:
EDA/PLD中的PLD技术在功能薄膜材料研究中的应用
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文件大小: 140kb
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上传时间: 2020-10-21
详细说明：摘要：薄膜材料已在半导体材料、超导材料、生物材料、微电子元件等方面得到广泛应用。为了得到高质量的薄膜材料，脉冲激光沉积技术受到了广泛的关注。本文介绍了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的原理及特点，分析了脉冲激光沉积技术在功能薄膜材料中的应用和研究现状，并展望了该技术的应用前景。
关键词：脉冲激光沉积(PLD) 功能薄膜应用研究现状
一、前言
脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition，简称PLD)是新近发展起来的一项技术，继20世纪80年代末成功地制备出高临界温度的超导薄膜之后，它独特的优点和潜力逐渐被人们认识和重视。该项技术在生成复杂
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