在惯性约束聚变（ICF）实验研究中，三次谐波转换单元是ICF驱动器重要的组成部分，为了缩短晶体的在线调试发次与时间，需先对单元进行离线调试。其基本原理是，通过扫描、测量倍频和三倍频晶体在不同倾斜角度下的谐波转换效率，然后利用多项式函数拟合数据，绘制谐波转换效率随倾斜角度变化的调谐曲线，确定最佳匹配位。基于理论分析，设计了一套高精度、自动化的三倍频离线调试系统。通过对现有系统的改进实验，以及对结果的分析表明，系统自动工作性能良好，单点测试的重复精度为±30 μrad，能量测量精度达到4%。