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  1. 一个非轴对称的光刻用光学系统

  2. 仅具一个对称面的光学系统一般难以校正象差。采用椭球焦点附近的成象特性和适当的球面校正系统,可以得出视场直径50～70mm,N.A.0.15～0.1,象质接近衍射极限的设计。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-04
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38548394