一种多层膜反射镜反射率的测量方法，程涛，李英骏，x射线激光以其波长短，单光子能量高的特点广泛应用在很多的方面，例如天文学、显微镜、激光武器、光谱分析学等等。在x射线的多种�

针对4.48 nm类镍钽软X射线激光及其应用实验, 设计制备了工作于这一波长的近正入射多层膜高反射镜。选择Cr/C为制备4.48 nm高反射多层膜的材料对, 通过优化设计, 确定了多层膜的周期、周期数以及两种材料的厚度比。模拟了多层膜非理想界面对高反射多层膜性能的影响。采用直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上实现了200周期Cr/C多层膜高反射镜的制备。利用X射线衍射仪测量了多层膜结构, 在德国Bessy Ⅱ同步辐射上测量了在工作波长处多层膜反射率, 测量的峰值反射率达7.5％。对衍射仪测量的掠入射

提出了一种极紫外(EUV)单色仪定标新方法。对Mcpherson247型EUV单色仪进行波长定标，通过测量标准气体He空阴极光源的两条发射光谱30.38 nm和58.43 nm和标定过的中心波长为13.90 nm的Mo/Si多层膜反射镜的反射率峰值位置，在单色仪的运动轨迹上将所定的标准点作相应的标识，并用Origin软件进行处理。分析标定结果，得出了在12～60 nm波段内，用激光等离子体光源软X射线反射率计测量多层膜反射镜反射峰值位置时，测量准确度为0.09 nm，测量重复性为±0.04 nm