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  1. 多自由度误差同时测量中的滚转角测量方法

  2. 提出了一种滚转角误差测量的新方法, 该测量方法能够实现与其他自由度误差测量相集成, 构成多自由度同时测量系统。系统采用带温控的半导体激光器单模光纤组件作为光源, 有效降低了激光器本身的光线漂移, 为测量提供高精度高稳定性的基准光线; 采用特殊棱镜作为测量的敏感单元, 通过此棱镜出射光线的直线度测量, 间接实现滚转角误差测量。实验过程和数据表明, 测量系统具有很好的稳定性和重复性, 通过与电子水平仪的对比实验, 验证了该方法的可行性, 测量精度约为2″。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-10
    • 文件大小:1048576
    • 提供者:weixin_38712279
  1. 一种多自由度误差同时测量方法

  2. 提出一种基于激光准直技术的多自由度误差同时测量方法。采用半导体激光单模光纤组件为光源,分别以角锥棱镜和分光直角棱镜作为二维直线度误差和三维角度误差的敏感器件,实现了直线导轨五自由度误差的同时测量,且测量移动部分无电缆连接。通过理论分析及实验,验证了方法的可行性和可靠性。在设定参数下,直线度、俯仰偏摆角和滚转角误差的测量分辨率可分别达到0.1 μm ,0.1″和0.3″。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-05
    • 文件大小:2097152
    • 提供者:weixin_38732740