针对当前使用的压电陶瓷驱动电源大多存在的使用效率低、体积大等问题，提出了一种使用效率高、动态性能好的新型PWM压电陶瓷驱动电源。设计以MSK4223开关型运算放大器为核心，采用双路输出电压积分反馈的方法，提高了压电陶瓷微定位的精度，使用效率达到了80%以上，有效输出带宽可以达到2 kHz，动态性能良好，发热量小，集成度也得到了明显提高。最后对电压反馈式开关型压电陶瓷驱动电源进行了性能测试，从而验

针对当前使用的压电陶瓷驱动电源大多存在的使用效率低、体积大等问题，提出了一种使用效率高、动态性能好的新型PWM压电陶瓷驱动电源。设计以MSK4223开关型运算放大器为核心，采用双路输出电压积分反馈的方法，提高了压电陶瓷微定位的精度，使用效率达到了80%以上，有效输出带宽可以达到2 kHz，动态性能良好，发热量小，集成度也得到了明显提高。最后对电压反馈式开关型压电陶瓷驱动电源进行了性能测试，从而验证了在动态性能要求较高的环境下应用的可行性。

超声电动机（USM）是近几年研制开发的一种新型微驱动器。USM突破了传统电动机的电磁耦合概念，而是依靠压电陶瓷的逆压电效应实现能量的传递。USM与传统电动机比较主要特点是体积小、重量轻、不受磁场影响、低速大扭矩[1]。因此，USM在微型机械、精密加工、汽车和机电一体化等领域中有着良好的应用前景。由于USM为容性负载，如何解决USM驱动系统中的电源问题，已引起从事USM研究与应用的科技工作者的广泛关注[2][3]。本文针对行波超声电动机驱动系统的工作原理，采用了先进的开关电源技术，以推挽式逆变器作