基于微机电系统(MEMS)技术，提出了一种光栅与法布里珀罗(F-P)腔相结合的新型MEMS F-P滤波器结构，这种滤波器既能保证较宽的自由光谱范围又能够获得较窄的半峰全宽。从实现机理、参数设计和选择对F-P滤波器的结构进行了深入分析，并着重对微桥桥面的机电性能进行了仿真计算。通过选择不同的微桥桥面厚度（0.5，0.6，0.7，0.8，0.9，1 μm），比较微桥在静电力作用下的平整度，发现当微桥表面厚度为1 μm时，得到了一个较优结果，在5 V电压下，上反射镜的倾斜位移ΔL为9.11 nm，最大

为实现调谐范围宽、调谐速度快、带宽窄、驱动电压低以及可批量化生产的可调光学滤波器, 提出了一种新型微机电系统(MEMS)可调光学滤波器。由高反射率可动光学镜面与准直扩束光纤端面组成法布里-珀罗(F-P)腔。通过静电驱动改变F-P腔的腔长以调整滤波器的输出光波长, 分析了可调光学滤波器的波长调谐原理和静电驱动原理, 给出了器件的结构参数和综合设计考虑。利用体硅加工工艺成功制作了可调光学滤波器样品, 并进行了实验测试。实验结果表明, 通过改变准直扩束光纤的初始位置, 3 dB带宽与自由谱域之间具有可