将矩阵论中的反向迭代算法用于集成光波导器件传输模式的分析。并用它对三维矩形掩埋式波导进行了实际的计算。然后用时域有限差分(FDTD)算法对其进行了模拟。由实验结果可以得出,反向迭代法是一种分析集成光波导传输模式的有效算法。由于它是对波函数直接进行离散化处理,而没有引入任何近似条件, 因此从理论上讲它可以分析任何复杂结构三维波导传输模式。