针对气体激光器细光束的尺寸参数的工业测量和质量控制, 提出一种朗琴栅尺扫描TEM00基模高斯激光光束的测量分析仪。所研制的仪器可以测量分析光斑1/e2直径、横场分布和调制对比度等光束参数, 特别是可以在近场测定1/e2光束远场发散角。描述了该仪器的基本原理、结构及测量结果。