提出了一种非线性相位误差的全场补偿方法，通过对参考面相位的多次测量，提高了参考面的解相精度，提取出一个逼近理想值的期望相位面，并用该期望相位面检测非线性相位误差。重构待测物体时，可直接用物体展开相位值在查找表中查找对应的非线性相位误差，并以此对物体的展开相位进行全场补偿。采用所提方法重构已知具体高度的平面，平均绝对误差的最大值从0.48 mm减小到0.06 mm，方均根误差的最大值从0.55 mm减小到0.07 mm。

相移阴影叠栅干涉场的相位（高度）存在非线性关系，而传统的相移阴影叠栅技术往往忽略了相位与高度的非线性关系，从而在测量系统中引入测量误差。对此提出了一种基于迭代相位解调自调算法相移阴影叠栅技术，该方法利用最小二乘技术获得相移量估算值，利用该估算值通过迭代算法消除相移阴影叠栅的全场相位误差，从而得到正确的相位分布。模拟计算表明该方法可以有效解决相移不均产生的相位测量误差问题，且可实现光栅移动量的精确估算，其误差不超过3.4%。对比实验进一步说明了所提出方法的正确性和优越性。