为了使用微流体细胞仪实现对细胞的精确计数，设计和制作了能够真正实现三维聚焦功能 的微流沟道。首先用Ａｎｓｙｓ软件对微流沟道的结构进行了优化设计，利用斜曝光工艺制作了 ＳＵ－８微流沟道模具；然后利用聚二甲基硅氧烷（ＰＤＭＳ）对ＳＵ－８模具进行倒模，得到其负模 结构，对负模结构进行表面处理后，进行二次倒模，得到与原ＳＵ－８微流沟道结构一致的 ＰＤＭＳ复制品；最后用荧光检测方法对封装好的ＰＤＭＳ微流沟道的封装和聚焦效果进行了测试。 结果表明：该芯片结构可靠，可以满足进一步的流体聚焦检测要求，采用该方法