由于具有较低的机械热噪声，高Q值加速度计在高精度低噪声信号检测领域应用广泛。在过采样率相对不高的情况下，针对低阶结构的高Q值加速度计接口电路性能受限于量化噪声的问题，提出了一种高阶结构的高Q值闭环ΣΔ加速度计接口电路，大大降低了数字接口电路基带内的量化噪声。为了保证该高阶系统的稳定性，设计了一种前置补偿器电路来提高电学阻尼。测试结果表明，该高Q值高阶结构系统稳定，相对于二阶结构而言对量化噪声的抑制能力大大提高。