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  1. 模拟技术中的Ka 波段下90°分布式MEMS 移相器的优化设计

  2. 0 序言 　　MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 　　ME

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-22
    • 文件大小：193536
    • 提供者：weixin_38716081

  1. 一种90°分布式MEMS 移相器的设计

  2. 近年来随着射频微机械技术的发展，MEMS移相器越来越受到人们广泛关注，已经成为人们主要研究的MEMS器件之一。与传统的移相器相比，MEMS移相器多采用半导体材料作衬底，用微机械加工技术制备，具有频带宽、损耗小、成本低、超小型化、易于与IC、MMIC电路集成等优点，因此在微波及毫米波控制电路中具有广泛的应用前景。美国密歇根大学的Barker博士通过在共面波导上周期加载MEMS 金属桥的方法，首先实现了毫米波段宽频带的MEMS移相器，如图1 所示,它的基本原理是通过改变MEMS 金属桥的高度来改变传

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-24
    • 文件大小：145408
    • 提供者：weixin_38573171

  1. 电子测量中的一种90°分布式MEMS移相器的设计

  2. 摘要：RF MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点。通过在共面波导信号线上贴敷低介电常数的薄层绝缘介质,使得MEMS金属桥与共面波导信号线在“关”态下形成MIM电容的方法,实现了提高“关”“开”两种状态下的电容比,从而提高了单位长度上的相移量。在Ka波段下,建立90°分布式MEMS移相器的等效电路,并对其进行了仿真优化,达到要求的技术指标。 　　0 序言 　　近年来随着射频微机械技术的发展，MEMS移相器越来越受到人们广泛关注，已经成为 人

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-10
    • 文件大小：230400
    • 提供者：weixin_38621565

  1. 一种90°分布式MEMS移相器的设计

  2. 摘要：RF MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点。通过在共面波导信号线上贴敷低介电常数的薄层绝缘介质,使得MEMS金属桥与共面波导信号线在“关”态下形成MIM电容的方法,实现了提高“关”“开”两种状态下的电容比,从而提高了单位长度上的相移量。在Ka波段下,建立90°分布式MEMS移相器的等效电路,并对其进行了仿真优化,达到要求的技术指标。 　　0 序言 　　近年来随着射频微机械技术的发展，MEMS移相器越来越受到人们广泛关注，已经成为 人

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-20
    • 文件大小：311296
    • 提供者：weixin_38705874

  1. Ka 波段下90°分布式MEMS 移相器的优化设计

  2. 0 序言 　　MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 　　ME

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-20
    • 文件大小：184320
    • 提供者：weixin_38660327