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  1. 一维深亚波长光栅的耦合波分析及偏振特性的研究

  2. 讨论了一种新的一维深亚波长光栅,其周期结构由等离子体增强化学气相淀积法(PECVD)制备的周期性多层膜构成.简单介绍了这种深亚波长光栅的制作方法.采用严格耦合波分析(RCWA)理论计算了这种一维深亚波长光栅的衍射效率,分析了它的偏振特性.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：206848
    • 提供者：weixin_38724349