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  1. 不同沉积温度下非晶硅光学薄膜的光学特性研究

  2. 光学薄膜的光学特性是薄膜设计与制备的基础。硅材料是红外光学薄膜中一种重要的高折射率材料。研究了在不同沉积温度下非晶硅光学薄膜的折射率和消光系数的变化。结果表明，在200 ℃时，硅薄膜折射率最大，消光系数随温度升高而减小。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-05
    • 文件大小：1043456
    • 提供者：weixin_38582716