为了更深层次探究超短脉冲激光对惯性约束聚变(ICF)光学系统中常见的多膜层元件损伤修复性能以及特点，分别采用了240、35、6 ps的1053 nm激光脉冲在1053 nm 0°高反膜上进行了损伤修复以及损伤增长测试实验，并在1053 nm 45°高反膜上进行了大损伤区域的扫描修复实验。通过比较不同脉宽的修复点形貌以及损伤增长阈值，说明了超短脉冲用于修复多膜层光学元件损伤的优越性，并且脉宽越短修复效果越好。多点脉冲扫描修复结果表明，可以通过三维控制系统来任意控制扫描修复点形貌以达到最佳修复状态。