提出了一种结合最小误差熵和最优控制策略开发的具有不确定计量延迟的半导体Craft.io运行控制方法。 在大多数半导体Craft.io中，上一次运行的产品质量数据在下一次运行开始之前通常不可用。 因此，校正步骤通常被延迟一批次或更多，并且延迟的持续时间具有随机特性是不确定的。 再加上不正确的过程模型，即使使用指数加权移动平均值（EWMA）控制器，延迟也可能导致过程输出的显着变化。 从概率的角度出发，提出了一种处理不确定的计量延迟的新方法。 首先要重新检查运行控制系统的基本原理，然后通过将熵（或信息