中国等离子体控制技术行业产业链上游为零部件供应商，包括传感器、可编程控 制器、射频电源、真空电容器等供应商。  （1）传感器、可编程控制器  传感器、可编程控制器是等离子体控制技术的核心配件，用于获取等离子体电流、 位置和形状大小信息，提高等离子体控制技术执行控制的水平。①在传感器领域，目前中国 传感器企业数量稀少，知名企业代表包括歌尔股份有限公司、美新半导体有限公司等， 其制造工艺、技术以及经验与全球头部企业存在差距；②在可编程控制器领域，中国 可编程控制器企业多以组装和代加工业务为主，缺乏核