在碱性催化条件下正硅酸乙酯的溶胶体系中，引入二甲基甲酰胺(DMF)进行原位共溶胶凝胶，并结合常压干燥工艺制备多孔SiO2增透薄膜。利用Netzsch热分析仪研究了干凝胶在干燥过程中的热稳定性、用扫描电子显微镜（SEM）对样品薄膜的形态结构进行了表征，用分光光度计考察了DMF对膜层增透性能的影响。实验结果表明，DMF能有效防止凝胶的开裂，抑制颗粒团簇的产生，使胶粒聚联成大的网络结构，提高了成膜性能；DMF的加入能提高薄膜的透射率，使膜层在300~1000 nm范围内透射率达99%以上。