通过图像处理方法, 用软件的方式(亚像元细分)对目标进行定位是一个可有效提高测量精度的途径。主要对互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器亚像元细分精度的测试方法和测试结果进行研讨。利用压电陶瓷(PZT)精密快扫振镜(FSM)和基于互补金属氧化物半导体图像传感器OV7620的数字相机构建了实验系统, 对该互补金属氧化物半导体图像传感器OV7620的亚像元细分精度进行了实验研究。结果表明, OV7620的质心定位精度达到0.17 pixel, 即能够实现六细分, 互补金属氧化物半导体图像传感器具