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  1. 介观压阻型微压力传感器设计

  2. 该结构的压力微传感器由于敏感元件与变换元件一体化，尺寸小，其固有频率很高，可以测量频率范围很宽的脉动压力。在不同的偏压下，该传感器的灵敏度不同。说明灵敏度可调节。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-08-07
    • 文件大小：74752
    • 提供者：weixin_38565631

  1. 传感技术中的介观压阻型微压力传感器设计

  2. l 引言 　　压力传感器应用广泛，例如汽车中的多路压力测量(如空气压力测量和轮胎系统、液压系统、供油系统的压力测量)、环境控制(如加热、通风和空气调节)中的压力测量、航空系统中的压力测量以及医学中动脉血液压力测量等。这里将在传统压力传感器中使用一种新原理一介观压阻效应口，即在共振隧穿电压附近，通过4个物理过程，将一个微弱的力学信号转化为一个较强的电学信号。用基于介观压阻效应的共振隧穿薄膜替代传统的压阻式应变片作为敏感元件，通过理论分析和仿真计算验证了该结构对传感器灵敏度、固有频率的影响，从理论

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-10
    • 文件大小：161792
    • 提供者：weixin_38512781

  1. 传感技术中的介观压阻型微压力传感器介绍及设计

  2. 压力传感器应用广泛，例如汽车中的多路压力测量(如空气压力测量和轮胎系统、液压系统、供油系统的压力测量)、环境控制(如加热、通风和空气调节)中的压力测量、航空系统中的压力测量以及医学中动脉血液压力测量等。这里将在传统压力传感器中使用一种新原理一介观压阻效应口，即在共振隧穿电压附近，通过4个物理过程，将一个微弱的力学信号转化为一个较强的电学信号。 　　用基于介观压阻效应的共振隧穿薄膜替代传统的压阻式应变片作为敏感元件，通过理论分析和仿真计算验证了该结构对传感器灵敏度、固有频率的影响，从理论上证明了

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-07
    • 文件大小：199680
    • 提供者：weixin_38722944

  1. 介观压阻型微压力传感器设计

  2. 运用共振隧穿双势垒（DBRT）结构中的一种压阻效应原理—介观压阻效应，用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT结构薄膜作为敏感元件，设计了一个周边固支平膜片结构的压力传感器。并对介观压阻和普通压阻灵敏度的量级作出了比较，验证了介观压阻效应原理，可以提高压力传感器的灵敏度，为制造基于介观压阻效应的新型超敏感型传感器提供了一定的理论依据。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-31
    • 文件大小：456704
    • 提供者：weixin_38616330

  1. 介观压阻型微压力传感器设计

  2. l 引言 　　压力传感器应用广泛，例如汽车中的多路压力测量(如空气压力测量和轮胎系统、液压系统、供油系统的压力测量)、环境控制(如加热、通风和空气调节)中的压力测量、航空系统中的压力测量以及医学中动脉血液压力测量等。这里将在传统压力传感器中使用一种新原理一介观压阻效应口，即在共振隧穿电压附近，通过4个物理过程，将一个微弱的力学信号转化为一个较强的电学信号。用基于介观压阻效应的共振隧穿薄膜替代传统的压阻式应变片作为敏感元件，通过理论分析和仿真计算验证了该结构对传感器灵敏度、固有频率的影响，从理论

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-19
    • 文件大小：199680
    • 提供者：weixin_38674569

  1. 介观压阻型微压力传感器介绍及设计

  2. 压力传感器应用广泛，例如汽车中的多路压力测量(如空气压力测量和轮胎系统、液压系统、供油系统的压力测量)、环境控制(如加热、通风和空气调节)中的压力测量、航空系统中的压力测量以及医学中动脉血液压力测量等。这里将在传统压力传感器中使用一种新原理一介观压阻效应口，即在共振隧穿电压附近，通过4个物理过程，将一个微弱的力学信号转化为一个较强的电学信号。 　　用基于介观压阻效应的共振隧穿薄膜替代传统的压阻式应变片作为敏感元件，通过理论分析和仿真计算验证了该结构对传感器灵敏度、固有频率的影响，从理论上证明了

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-19
    • 文件大小：262144
    • 提供者：weixin_38727087