本文报道了仿生鱼纤毛中低频三维MEMS矢量水力磨具。 通过ANSYS有限元分析获得压阻式合理位置，并通过光刻，离子注入，PECVD和蚀刻等NEEMSCraft.io形成结构。驻波镜筒结果表明，水听器的最低灵敏度为200 dB，并达到高达160 dB（其中电压放大系数为300）。 它在25 Hz时具有类似于1500 Hz频段的良好频率响应特性。 方向性测试表明，水听器具有良好的“ 8”形方向性，其分辨率不小于30 dB，最大轴向灵敏度值的不对称性小于1.2 dB。