MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 　　MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人

摘要： 随着差动式硅电容传感器广泛应用于各行各业中， 对差动电容信号的检测至关重要。文中提出基于CAV424电容检测芯片作为前置检测单元， 实现了电容压力传感器测量电路。该电路具有稳定性好， 抗干扰性强， 且通过非线性补偿有良好的线性。实验结果表明， 实际电路与理论分析具有良好的一致性。 　　0 引言 　　硅电容压力传感器是利用硅基材料， 应用电容原理， 采用MEMS 工艺制作的一类新型压力传感器。因其具有稳定性好， 非线性和可靠性优越的性能被广泛用于工业控制和测量领域。但是差动电容式压力传