摘要：针对电容式传感器研发过程中缺乏有效的微小电容检测仪器的问题，设计了一种基于电容检测芯片MS31lO的电容式传感器检测系统，给出了系统的硬件设计以及单片机和上位机部分的软件设计，并对系统的检测精度进行了测试。结果证明，该系统具有较高的检测精度。 　　引言 　　电容式传感器一般是将被测量的变化量转换为电容量的变化。目前，基于这种原理的各种类型的传感器已在测量加速度、液位、几何孔径等方面得到了广泛的应用。但以电容为变化量的传感器(尤其是MEMS传感器)，其电容变化范同往往只有几个pF，甚至几