摘要： 随着差动式硅电容传感器广泛应用于各行各业中， 对差动电容信号的检测至关重要。文中提出基于CAV424电容检测芯片作为前置检测单元， 实现了电容压力传感器测量电路。该电路具有稳定性好， 抗干扰性强， 且通过非线性补偿有良好的线性。实验结果表明， 实际电路与理论分析具有良好的一致性。 　　0 引言 　　硅电容压力传感器是利用硅基材料， 应用电容原理， 采用MEMS 工艺制作的一类新型压力传感器。因其具有稳定性好， 非线性和可靠性优越的性能被广泛用于工业控制和测量领域。但是差动电容式压力传