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  1. 传感技术中的硅压力传感器的可靠性强化试验

  2. 目前MEMS （M icroelectromechanical System ）技术已经朝着微型化、集成化及智能化的趋势发展。基于MEMS工艺的硅压阻式压力传感器已经广泛应用于航空、石油化工、动力机械、生物医学、气象、地质以及地震测量等领域中， 成为当今发展高新技术装备不可缺少的电子产品。而硅压阻式压力传感器的一些参数随环境应力的改变而发生变化， 为了使产品在使用过程中的可靠性有保障， 尽早发现硅压阻式压力传感器系统设计和制造工艺缺陷是解决上述问题的根本。但是，MEMS器件可靠性标准的缺乏和研究

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：74752
    • 提供者：weixin_38704857

  1. 传感技术中的基于模型识别技术的高温微型压力传感器

  2. 摘　要: 高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法之一。介绍一种将放大电路与传感器件分离的基于模型识别技术的微型电容式压力传感器。传感器件由MEMS 工艺来实现,信号激励与信号处理由计算机来完成。       对电路的工作过程进行了计算机仿真和试验,并给出了微型高温压力传感器的MEMS 工艺设计流程。       关键词: MEMS 工艺;模型识别;高温;压力传感器       0 　引　言       压

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：345088
    • 提供者：weixin_38565631

  1. 传感技术中的基于高温的微型压力传感器设计方案

  2. 0 引言 　　压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量轻，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展，半导体传感器向着微型化发展，而且其功耗小、可靠性高。 　　高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：173056
    • 提供者：weixin_38723236

  1. 传感技术中的基于微电子机械系统加速传感器在医疗领域的应用

  2. 通过基于微电子机械系统（MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM, MEMS）的加速传感器和陀螺仪的设计，MEMS技术已经广泛应用于导航和游戏软件领域；但是，微型电磁式感应器技术正越来越多地应用于医疗领域。 　　MEMS 普遍应用于患者诊断器械中。这种诊断器械用于检测患者心脏的功能。医务人员通常采用的方法是通过心电图来检查患者心脏功能情况。在心电图检查过程中，医务人员会将一套电极连接在人体上，使其与皮肤表面接触。通过这种方法，我们可以测量复杂的向量心电图（VCG）。向量心

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：182272
    • 提供者：weixin_38733414

  1. 传感技术中的基于闭环MEMS的电容式惯性传感器设计

  2. 微机械式惯性传感器已经成为许多消费产品的一个组成部分，比如手持式移动终端、照相机和游戏控制器等。此外，微机械式惯性传感器还被广泛用于工业、汽车安全和稳定控制以及导航领域中的振动监测。一般来说，微型传感器可以是压电式、压阻式或电容式传感器。然而，电容式传感的高热稳定性和高灵敏度使得它对种类广泛的应用来说更具吸引力。 　　带数字读取功能的基本的电容式传感器接口电路由电容到电压转换器（C/V），以及随后的模数转换器（A/D）和信号调节电路组成。以开环配置（没有反馈信号）运行这种传感器可以形成相对简单

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：124928
    • 提供者：weixin_38738528

  1. 传感技术中的基于姿态传感器温度补偿方法的研究

  2. 摘要：针对电子产品可能会出现随着环境温度的变化而产生测量误差的现象，在此选用姿态传感器在检测过程中出现这种误差的情况，提出了一种在软件方面利用最小二乘法进行温度补偿的方法。该方法计算简单，补偿精度高。通过实验数据验证表明，经过最小二乘法进行温度补偿后的检测精度，相比补偿前有了很大的提高。因此在高精度技术要求的检测中，利用这种方法进行温度补偿后可精确地检测出载体的姿态角度。 　　0 引言 　　随着微机电系统（MEMS）技术在微型化技术基础上，结合了电子、机械、材料等多种学科交叉融合的前沿科研领

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：323584
    • 提供者：weixin_38752628

  1. 传感技术中的基于MEMS姿态传感器温度补偿方法

  2. 导读：基于MEMS姿态传感器主要用于载体姿态的调整和倾角的检测，但是由于工作环境温度的改变，就会导致测量精度的变化，在一些高精度检测的要求下，则失去其检测的效果，所以必须采取相应措施来消除或者减少随温度变化而引起的误差，即必须对传感器进行温度补偿。 　　随着微机电系统（MEMS）技术在微型化技术基础上，结合了电子、机械、材料等多种学科交叉融合的前沿科研领域的不断发展与成熟，从而出现了很多基于MEMS技术的传感器，此类传感器具有体积小、重量轻、低功耗、多功能等优点，在电子产品、航空航天、机械化工

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：304128
    • 提供者：weixin_38636655

  1. 超低功耗微型化气体传感器CCS800产品问世

  2. 导读：Cambridge CMOS Sensors日前宣布，推出超低功耗微型化气体传感器CCS800产品系列，从而实现了新一代的环境传感器解决方案。 　　公司获专利保护的CMOS MEMS微型热平板（Micro-hotplate）技术为我们的CCS800气体传感器产品系列提供了一种独特的芯片平台，在实现传感器小型化的同时，可显着降低功耗，同时实现超快稳定时间和响应时间。 　　微型热平板悬浮在一层高可靠性的膜中，并作为一种基于金属氧化物（MOX）的传感材料的加热元件。在200℃至400℃的温度

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：91136
    • 提供者：weixin_38694343

  1. 传感技术中的基于免疫微传感器的微流体系统

  2. 1 引 言 　　近几年，基于电化学原理的安培酶免疫检测发展迅速，在食品工业、环境监测与处理、生物技术及临床诊断等领域都有着广泛的应用。 　　利用抗原抗体之间的特异性亲和作用以及酶的催化放大作用，通过检测与待测物浓度相关的电流信号实现生物分子的检测和识别，相对于传统的光谱免疫检测具有响应快、灵敏度高、成本低、体积小等特点。 　　基于MEMS工艺在硅衬底上制备微电极结构实现免疫检测，能够实现免疫传感器器件的微型化、检测试剂的微量化以及生产的批量化。但这类免疫传感器仍处于实验室研究阶段，很多性能

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-08
    • 文件大小：177152
    • 提供者：weixin_38613548

  1. 传感技术中的飞思卡尔对MEMS市场推出三款敏感度极高的传感器

  2. 飞思卡尔半导体近期推出三款敏感度极高的传感器，可以带来微型机电系统行业加快向消费市场的更高采用率转换。此次基于MEMS的三款传感器将飞思卡尔当前的产品系列从1.5g增加到10g。这三款针对低成本消费电子市场的低重力传感器可探测通过微小的力量变化就可导致的坠落、倾斜、移动、定位和振动。   　　MMA6270Q(XY-轴)、MMA6280Q(XZ-轴)和MMA7261Q(XYZ-轴)传感器设备根据应用需要提供2或3个感应轴。MMA6280Q据称是业界第一个XZ轴加速计，可在横向和垂直平面上感应，无

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-27
    • 文件大小：37888
    • 提供者：weixin_38624628

  1. 传感技术中的ST新推数款基于MEMS技术的传感器

  2. 微机电系统(MEMS)器件供应商意法半导体(ST)宣布该公司继续扩大三轴加速计的产品阵容，推出三款以业界领先性能和最小封装为特色的加速计器件。从微型封装的模拟器件，到支持两种数字输出格式(SPI/I2C)的“智能传感器”，ST的低功耗高分辨率MEMS加速计可处理不同的系统需求以及从硬盘驱动器保护到运动用户接口的多种低g(重力加速度)应用中的硬件特性。　　ST的LIS3LV02DQ据称是市场上最先进的带一个SPI/I2C标准数字接口的三轴低g加速计，其包括可调带宽和方向检测在内的创新特性代表了ST

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-26
    • 文件大小：73728
    • 提供者：weixin_38661852

  1. 传感技术中的MTBSolutions与和MemsTech携手制造MEMS传感器

  2. MTBSolutions公司日前宣布，该公司将与马来西亚传感器制造商Mems Technology Berhad合作，向北美客户提供基于MEMS产品的制造服务。     MTBSolutions公司将为MemsTech公司的晶圆和封装厂提供设计、工程、应用和市场支持服务，MemsTech公司具有0.6微米标准芯片CMOS微机械的制造能力。     MemsTech和MTBSolutions可提供广泛的以MEMS为基础的应用，包括压力传感器、硅微型麦克风(silicon microphone)、热

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-30
    • 文件大小：29696
    • 提供者：weixin_38499503

  1. 传感技术中的飞思卡尔针对消费MEMS市场扩展1-2-3轴传感器

  2. 飞思卡尔半导体近期推出三款敏感度极高的传感器，这些传感器可以带来微型机电系统（MEMS）行业加快向消费市场的更高采用率转换。 　　此次基于MEMS的MMA6270Q (XY-轴)、MMA6280Q (XZ-轴) 和 MMA7261Q (XYZ-轴) 传感器（也称为加速计）的推出将飞思卡尔当前的产品系列从1.5g增加到10g。这三款针对低成本消费电子市场的低重力（low-g）传感器是电子系统的理想之选，它可以探测通过微小的力量变化就可导致的坠落、倾斜、移动、定位和振动。 　　MMA62

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-09
    • 文件大小：50176
    • 提供者：weixin_38691641

  1. 传感技术中的基于MEMS技术的微型传感器

  2. 摘要：和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。   　　关键词：MEMS 技术；微型传感器；智能化；多功能化   微型传感器的特点   传统的传感器件因其制作工艺与半导体IC 工艺不兼容,所以无论在性能、尺寸和成本上都不能与通过IC 技术制作的高速度、高密度、小体积和低成本的信号处理器件相适应,于是制约了整个系统的集

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-07
    • 文件大小：160768
    • 提供者：weixin_38720256

  1. 传感技术中的飞思卡尔扩展传感器加速满足消费MEMS市场

  2. 1.5g-10g小包装传感器可为电子生产厂商提供卓越性能      飞思卡尔半导体近期推出三款敏感度极高的传感器，这些传感器可以带来微型机电系统（MEMS）行业加快向消费市场的更高采用率转换。       此次基于MEMS的MMA6270Q (XY-轴)、MMA6280Q (XZ-轴) 和 MMA7261Q (XYZ-轴) 传感器（也称为加速计）的推出将飞思卡尔当前的产品系列从1.5g增加到10g。这三款针对低成本消费电子市场的低重力（low-g）传感器是电子系统的理想之选，它可以探测通过微小的

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-13
    • 文件大小：75776
    • 提供者：weixin_38737213

  1. 超低功耗微型化气体传感器CCS800产品问世

  2. 导读：Cambridge CMOS Sensors日前宣布，推出超低功耗微型化气体传感器CCS800产品系列，从而实现了新一代的环境传感器解决方案。 　　公司获保护的CMOS MEMS微型热平板（Micro-hotplate）技术为我们的CCS800气体传感器产品系列提供了一种独特的芯片平台，在实现传感器小型化的同时，可显着降低功耗，同时实现超快稳定时间和响应时间。 　　微型热平板悬浮在一层高可靠性的膜中，并作为一种基于金属氧化物（MOX）的传感材料的加热元件。在200℃至400℃的温度范围

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-20
    • 文件大小：86016
    • 提供者：weixin_38693192