摘要：完成了微压力传感器接口电路设计。采用惠斯通电桥滤出微压力传感器输出的模拟变量，然后用INA118放大器将此信号放大，用7715A/D 进行模数转换，将转换完成的数字量经单片机处理，最后由LCD 将其显示，采用LM334 做的精密5 V 恒流源为电桥电路供电。既能保证检测的实时性，也能提高测量精度。 　　微压力传感器信号是控制器的前端，它在测试或控制系统中处于首位，对微压力传感器获取的信号能否进行准确地提取、处理是衡量一个系统可靠性的关键因素。后续接口电路主要指信号调节和转换电路，即能把传

摘 要：针对电容式传感器的微变电容检测困难的问题，提出了一种数字化的通用检测接口方案。分析了基于“激励-检测”的直接式微变电容测量原理，利用DDS发生载波，并采用离散傅里叶变换分离测量结果的幅值与相位以求得电容变化量。根据接近式电容传感器的测量需要，设计了具体的硬件电路进行验证。实验结果表明，检测正确率在95%以上，该接口方案能够较好地检测设计值在0.1pF以上量级的微变电容，设计简洁，具有较强的移植性。 　　1 引 言 　　电容式传感器具有体积小，功耗低，灵敏度高等优点，被广泛应用于加速度

0引言 　　电容式传感器是将被测的非电量变化转换为电容量变化的一类传感器，由于它具有灵敏度高、功耗低、温度漂移小等优点，因此广泛应用在压力、湿度、温度和加速度等测量中。MEMS(微电子机械系统)传感器体积小的特点决定了敏感电容器的电容值不可能大，一般为pF量级，而由这些物理量引起的微电容的变化更加微小，一般为fF甚至aF量级。如此小的变化量对检测电路的设计是一个挑战。传统的用分立元件搭制检测电路的方法将无法适应传感器电容不断减小的趋势，因此设计匹配的接口集成电路是十分必要的。常用的低值电容测量