继推出硅基MEMS麦克风芯片后，苏州敏芯微电子技术有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS绝对压力传感器芯片，主要针对量程为15PSI的高度表市场，并已开始提供样品。 　　据敏芯微电子介绍，其MEMS压力传感器芯片典型满量程输出范围为100kPa，在加载电压5V的情况下，满量程灵敏度为100mV，桥臂电阻典型值为5k欧姆，零位输出在+-30mV之间，灵敏度温度系数为-19%FS/100度。敏芯微电子称，其在国内率先独家推出的MEMS绝对压力传感器芯片，可同时兼容开