1  引  言 　　近年来， 声表面波气体传感器发展迅速， 应用于多个领域， 具有良好的发展前景。由于SAW 传感器具有尺寸小、价格低、精度高、灵敏度高及分辨率高等优点， 因此产生了由声表面波器件、敏感薄膜和相关检测电路组成的SAW 气体传感器。敏感薄膜在吸附气体的过程中， 被测气体导致的应力作用于声表面波传输路径中的介质， 使其动力学特性发生改变， 进而改变声表面波器件的谐振频率。与之配套的检测电路测试出这个改变量， 从而得到待测气体的相关特性， 而检测电路的相关性能直接影响整个传感器的精度