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传感技术中的用于气体检测的声表面波振荡电路设计
1 引 言 近年来, 声表面波气体传感器发展迅速, 应用于多个领域, 具有良好的发展前景。由于SAW 传感器具有尺寸小、价格低、精度高、灵敏度高及分辨率高等优点, 因此产生了由声表面波器件、敏感薄膜和相关检测电路组成的SAW 气体传感器。敏感薄膜在吸附气体的过程中, 被测气体导致的应力作用于声表面波传输路径中的介质, 使其动力学特性发生改变, 进而改变声表面波器件的谐振频率。与之配套的检测电路测试出这个改变量, 从而得到待测气体的相关特性, 而检测电路的相关性能直接影响整个传感器的精度
所属分类:
其它
发布日期:2020-11-03
文件大小:266240
提供者:
weixin_38722874