余洪斌，陈海清，竺子民，李俊，王忠（华中科技大学光电子工程系，湖北 武汉 430074）摘要：将MEMS技术用于自适应光学系统具有重大意义。本文从原理及制作工艺上论述了几种新型的可变形反射镜，为下一步的深入研究打下基础。 关键词：硅微加工；自适应光学；可变形反射镜 中图分类号：TN256 文献标识码： A 文章编号：1003-353X(2004)05-0064-041 前言 自适应光学是新近发展起来的一种集光学、机械与电学为一身的技术，一方面由于没有一种技术能同时对其中的核心部件如可变形反射镜、