用一个5ornm长微通道板代替光谱仪通用的电子通道倍增器，若用100卜m出入缝，测量高离化态氖 离子的真空紫外光谱，大约1onm的波长区段，谱线分辨好于0.Inm，计数效率提高了两个量级，波长精度 可达0.olnm。

位置灵敏探测技术是一种利用在通道电子倍增器的基础上开发出来的微通道板上对电子信号进行增益，而后将从微通道板上引出的信号与各种电阻阳极相结合后，来实现对电子入射点位置的测定的一种技术。

基于CE-3极紫外(EUV)相机最高工作温度为70 ℃的要求，对EUV相机的微通道板(MCP)位置灵敏阳极光子计数成像探测器实验件在70 ℃时的性能进行了研究，该探测器主要由工作在脉冲计数模式下的MCP堆、楔条形感应电荷阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。为了获得稳定的MCP堆电子增益及较小的暗计数率，对MCP堆进行了预处理，包括380 ℃条件下真空高温烘烤18 h，以及电子清刷100 μA·h，并测量了预处理前后暗计数率；测量了探测器工作在室温和70 ℃时的暗计数率、空间分辨率、增益，测量结果

基于远紫外（FUV）成像光谱仪对所用光子计数成像探测器高计数率、高空间分辨率的要求，研制出使用感应电荷位置灵敏阳极的FUV波段二维光子计数成像探测器原理样机，该探测器主要由工作在脉冲计数模式下的微通道板（MCP）堆、楔条形（WSA）感应位敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。感应电荷WSA阳极探测器的分辨率主要由前端模拟电路的信噪比决定，而信噪比与整形放大器的整形时间有关，整形时间越长，信噪比越高，模拟电路的输出计数率越低。测量了整形时间分别为0.25、0.5、1、2、4 μs条件下探测器的分辨