本文介绍了一种使用微机电系统（MEMS）镜和f-theta透镜的新型光纤耦合外差干涉仪。 在该干涉仪系统中，通过两个声光调制器（AOM）引入了以2 mm的频率工作，频率差为100 kHz的交叉偏振激光束。 借助组合的光学扫描配置，MEMS反射镜和f-theta透镜，用1mm激光束均匀扫描直径300mm的样品。 来自两个通道（参考通道和测量通道）的输出中间信号在12位模数（A / D）处理系统中进行处理。 讨论了我们的干涉仪方案的细节。 ＃2011日本应用物理学会