摘要： 本文简要介绍了目前国际上最新型微电机系统（MEMS: Micro -Electro -Mechanical Systems） 的原理以及在此基础上研制出的几种微小型继电器 . 　　1 引言 　　人类对微观世界的探索和小型化的追求是无止境的。各种应用的智能化和自动化需要把更多的功能集成在越来越紧凑的空间中，而小型化同时可以使一些功能提高（如速度、效率等），并使材料和制造成本不断降低。 　　上世纪中叶半导体集成电路的发明在电子信息产业引发了一场革命。大规模平面集成式微电子制作工艺把一代