（上海交通大学微纳米科学技术研究院，薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200030）摘要：叙述了坡莫合金，铁氧体和非晶、纳米晶软磁等材料用作微电感磁芯的磁性材料的特性及其对微电感性能的影响，如电感量和Q值。并介绍了螺线管型微电感的制作工艺过程。关键词：磁芯材料；为电感；电感量；Q值中图分类号：TN55 文献标识码：A 文章编号：1003-353X（2005）10-0058-04 1 引言近年来便携式电子产品向小型化和微型化发展，并以大爆炸的形式进入人们的生活。磁性器件如电感器件及由它构成的电源