金属氧化物半导体场效应晶体管(Metal－Oxide－Semiconductor Field－Effect Transistor，MOSFET)是由一个金氧半(MOS)二机体和两个与其紧密邻接的P－n接面(p－n junction)所组成。自从在1960年首次证明后，MOSFET快速的发展，并且成为微处理器与半导体记忆体(memory)等先进集成电路中最重要的元件。随着超大型集成电路(VLSI)的快速发展，浅沟槽隔离(STI)技术在MOSFET制成中得到了广泛的应用。当MOSFET的有效通道长度