摘要：采用一片集成的RISC-SOC混合信号处理器产生高稳定度的正弦波，做电容测量电路的激励源，对测量结果进行ADC采样，并采取措施抑制引线电容和屏蔽外部干扰，得到高精度的电容测量值。 　　0引言 　　电容传感器广泛应用于工业、军事等领域。因而对电容特别是对微小电容的精确测量始终是一个很重要的内容。目前大部分测量方法大部分集成化水平低，有的精度不高。电桥法利用电桥平衡原理测量电容，测量结果受桥臂电容性能影响较大。振荡法电路结构简单，但对于待测电容在 100PF以下时，板间的内电容常会污染测量