阻值为1GΩ或者更高的电阻器常常称为高兆欧电阻器。高兆欧电阻器使这些元件成为不寻常的器件。所以在对其进行测量时，要考虑以下几种因素：电压系数和温度系数、机械振动的影响及污染等。 　　广泛使用的高兆欧电阻器有两种：碳膜电阻器和金属氧化物电阻器。与普通电阻器相比，碳膜高兆欧电阻器噪声大、不稳定、温度系数高、电压系数大、并且非常脆。金属氧化物型电阻器近年来的发展使其电压系数大为降低，温度系数和时间稳定性也得到改进。现代的器件可以达到电压系数小于5ppm/V，经过5年的测试以后没有明显的漂移。100M