光刻机光瞳整形普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对其光学特性的检测需求，提出了一种光刻机光瞳整形DOE远场多参数检测方法。该方法通过对远场光强分布进行转换，可同时获得DOE远场衍射图样的极平衡性、极张角、极方位角、半孔径角和径向光强分布等多种光学特性参数。实验中，对国外加工的产生四极照明模式的DOE进行了远场多参数检测与分析，结果表明该方法可以满足光刻机光瞳整形DOE的检测要求。