光电所成功研制URE-2000/17型台式紫外深层光刻机  　　近日，中国科学院光电技术研究所为适应市场需求，成功研发了一种URE-2000/17型台式紫外光刻机，并投入批量生产。 　　该产品采用200W直流高压汞灯(光能稳定性很高，汞灯寿命长)、双目双视场显微镜对准、球碗调平、单片机控制、触摸开关操作等，具有体积小、外形美观、性能可靠、操作方便、经济实用性强等特点，尤其适合高等院校和研究机构从事微电子技术、MEMS、声表器件、红外探测器、液晶等领域的科研、教学，以及生产企业用于小批量器件生产。

本文描述用聚焦调制激光束产生声波和用微音器探测这种声波的一种显微镜装置。采用微音器输出构成样品的扫描图象。该装置中的样品所散射的激光束强度用一光探测器探测。这种技术的独特之处在于图象反差由热学诸性质的空间变化所引起。图象的分辨率为15 μm。