光学元件的亚表面损伤直接影响其使用性能和抗激光损伤阈值等重要指标，而造成这些危害的根本原因是损伤引入的光散射。针对K9玻璃光学元件建立损伤模型，结合时域有限差分(FDTD)算法，模拟研究了会聚入射光被光学元件亚表面缺陷如微裂纹、气泡等调制后的光场分布以及光沿纵深方向扫描时探测器所接收的亚表面损伤引入的散射光强变化。研究结果对探索光学元件亚表面损伤的测量方法有重要的理论指导意义。