对于精密光学元件表面微米亚微米量级的表面缺陷，光在缺陷处会产生强烈的衍射和散射效应，其在像面的分布情况不能简单地使用几何光学进行解释。采用时域有限差分方法(FDTD)建立了光学元件截面为三角形、矩形的表面缺陷的电磁理论模型，模拟仿真得到了缺陷附近区域及像面的散射光分布情况。并使用电子束曝光、反应离子束刻蚀工艺制作了矩形截面的缺陷样本板，对样本缺陷进行了散射成像实验，得到了暗场图像的灰度分布情况，并与理论仿真结果进行了比对。实验中得到的表面缺陷的像面光强分布情况与理论模拟基本吻合，为光学元件的加工