介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪。提出了耦合差动干涉的新方法。通过对光程差进行倍增，提高了干涉仪的分辨率和稳定性。该干涉仪结构简洁紧凑，光路布局对称性好，不存在死光程，容易装调，符合阿贝原则和结构变形最小原则，在10 mm(可以扩展至50 mm)测量范围内，获得了λ/1600的分辨率和纳米级的测量精度。