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具有存储功能的衍射图像光刻系统的研制
研制
了一种在
衍
射
光
变
图像
器件上进行信息
存储
的
新型数字化激
光
光
刻
系统
。采用空间
光
调制器作图形自动输入,双远心投影成像
系统
在
光
刻
记录面上缩微图形。通过
光
栅干涉
光
学头对记录面上
的
微图形进行干涉调制, 使微图形上产生干涉条纹,条纹空间频率范围为500~1200 lp/mm。在
光
刻
胶干版上
的
存储
实验表明,在
衍
射
光
变
图像
上
的
单角度
存储
信息密度大于3.7 Mbit/cm2。改变干涉条纹取向、条纹间隔和需要
存储
的
图形,
光
刻
系统
可实现信息
的
旋转复用
存储
。上述
光
刻
系统
将会在防伪和
衍
射
光
变
图像
器件制造领域有良好应用。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-11
文件大小:985088
提供者:
weixin_38640984