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搜索资源列表

  1. 利用可饱和电感延长准分子激光器中闸流管的使用寿命

  2. 在分析影响闸流管寿命诸因素的基础上，讨论了利用磁助器延长闸流管使用寿命的原理和方法，并在准分子激光器中设计和使用磁助器，较好地解决了高压快放电中开关器件——闸流管使用中存在的问题，从而有利于延长其使用寿命。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-05
    • 文件大小：997376
    • 提供者：weixin_38718307

  1. 用准分子激光器制造碳化硅滑环微型结构

  2. 用准分子激光器制造碳化硅滑环微型结构

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-05
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38702110

  1. 高功率准分子激光器评述

  2. 高功率准分子激光器评述

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-05
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38730821

  1. 准分子激光器放大自发辐射特性的研究

  2. 本文考虑了XeCl激光振荡器中放大自发辐射对阈值条件和输出特性的影响,建立了激光和放大自发辐射归一化光通量的耦合输运方程,求得激光和放大自发辐射光通量分析和输出功率的解析表达式。结果表明:(1)放大自发辐射的存在增加了激光的阈值增益;(2)随着腔的Q值的提高,放大自发辐射的输出减弱;(3)适当地选取腔镜的反射率,即可有效地抑制放大自发辐射,从XeCl准分子激光器空间相干性的测量证实了上述结果。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-04
    • 文件大小：3145728
    • 提供者：weixin_38556668

  1. 100瓦的准分子激光器

  2. 据加利福尼亚州圣迭戈Helicmetics公司激光分部的J. I.列伐特宣布,已经制成第一台产生100瓦可用平均功率的商用准分子激光器。这台由X射线预电离、放电泵浦的XeCl激光器输出能量每脉冲超过1焦耳,运转速率为每秒100个脉冲。整个激光系统业经连续运转一个多小时而工作性能并无下降。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-04
    • 文件大小：670720
    • 提供者：weixin_38626179

  1. 用紫外准分子激光器进行接触式光刻的初步研究

  2. 本文叙述采用输出波长为308nm的XeCl准分子激光器进行微米级接触式光刻实验.获得1.5μm的分辨线条,而2.25μm线条已符合集成电路光刻要求.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38656337

  1. 1 kJ的准分子激光器

  2. 日本工业技术院电子技术综合研究所完成了日本最强的准分子激光器，设计输出能量为1 kJ,在世界列第二,用作激光核聚变研究用的激光装置(ASHURA)的光源。计划对现在完成的激光装置进行微调，最迟到明年秋季实现1 kJ的激光振荡。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：611328
    • 提供者：weixin_38506852

  1. 准分子激光器用户扩大

  2. 西德Lambda Physik公司宣布了一个价值100万美元的工业激光器新合同，由西门子Interatom公司订购EMG1003型准分子激光器作保密应用。同样金额的准分子激光器合同，只宣布过两个。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38553681

  1. 有两个同时激励的激活体积的准分子激光器

  2. 激活粒子密度较大的高气压激光器的特征是有较高的增益系数(0.1~0.5cm-1)。在这样的系统中，振荡常常是在超辐射状态下实现的。由文献[3]可知，超辐射是放大了的自发噪声，它没有辐射的空间相干性。放电型惰性气体卤化物准分子激光器就属于上述工作于超辐射状态下的激光器类型。对于许多应用来说，除了没有足够的空间相干性之外， 由于低激光能级涨落性质决定的振荡谱线较宽，这种激光器的时间相干性也较低。尽管放电型准分子激光器的效率高(>4%)、振荡能量也高（>13 J)，辐射的低质量从根本上限制

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38691319

  1. XeF(C-Α)准分子激光器—— 一种可见波段高效可调谐激光

  2. 到目前为止，具有较高功率和高效率的激光器仅存在于红外和紫外波段。CO2激光器(λ=248 nm)的效率达到30%，KrF激光器(λ=248 nm)的效率为15%。在可见光波段 (400~700 nm)仅有染料激光器，其效率在1%以下，它用于工业的可能性实际上无从提起。幸好这一欠缺可由XeF(C—A)激光器来弥补。像KrF激光器一样，它属于准分子激光器。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38679277

  1. 新型开关能改进准分子激光器性能

  2. 鉴于准分子激光器能发射可调谐强紫外输出，所以被认为是遥感某些大气成分，尤其是羟基原子团的理想光源。但是大多数准分子激光器的低效率和短寿命成了诸如在航天飞机和气象气球等空中应用中的障碍。目前，帕萨迪纳美国航天局喷气推进实验室的研究者们所做的实验证明，在激光器放电系统中采用一种称为饱和感应器的特殊幵关可以提高准分子激光器的效率并延长其寿命。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38608055

  1. 准分子激光器能加快平版印刷

  2. 国际商业机器公司的研究者说，准分子激光器有希望成为照相平版印刷术的光源，其速度比一般的灯快两个数量级。据公司研究实验室的K. Jain说，以激光方法 产生的像具有低至约0.5微米的分辨率，可与一般光源的极限相比。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：674816
    • 提供者：weixin_38728183

  1. 用准分子激光器改进半导体平版印刷术

  2. 国际商用机器公司圣何塞研究所的研究者在报导的实验中指出，准分子激光器发射的紫外光可能是把光学平版印刷术扩展到亚微米区域的关键。研究者利用接触掩蔽技术，在几十分之一亳微秒的曝光时间内,在抗烛剂上制成0.5微米的线。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38613681

  1. 准分子激光器中放电冲击波的仿真研究

  2. 分析了准分子激光器放电腔内放电冲击波能量来源的计算方法,利用Fluent软件对放电冲击波物理过程进行了二维仿真,揭示了300 μs内横向冲击波和纵向冲击波的演化过程,获得了此过程中气体速度、密度、压力和温度等关键参数的变化规律。对仿真结果进行分析,得出了高重复频率放电腔设计中应注意的关键位置以及处理方法,提出了选取放电腔尺寸和边界等参数时的参考依据。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-21
    • 文件大小：15728640
    • 提供者：weixin_38653385

  1. 用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征

  2. 对用于ArF准分子激光器的CaF2衬底进行了表征实验研究。采用分光光度计测量了CaF2衬底的透射光谱和反射光谱，利用激光量热法测量了CaF2衬底吸收，分别利用原子力显微镜（AFM）和白光干涉仪（WLI）测量了CaF2衬底的表面粗糙度，并计算了功率谱密度（PSD）和表面散射，最后分别测量了CaF2衬底的荧光光谱、红外光谱和拉曼光谱。激光量热法测量5 mm厚准分子级CaF2衬底的吸收结果为922×10-6。AFM和WLI测得的CaF2衬底表面粗糙度均方根值分别为0.22和1.24 nm，计算表面散射

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-13
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38653664

  1. 基于强化学习的准分子激光器能量控制算法研究

  2. 光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研究。为了设计能量特性控制算法,首先对准分子激光器的放电特性建立了仿真模型,并验证了模型的有效性。然后,设计了基于强化学习的准分子激光器能量特性控制算法。最后在仿真模型上,分别采用Z-N(Ziegler-Nichol)参数整定的比例积分(PI)算法、粒子群优化(PSO)整定的PI算法和基于强化学习的算

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-13
    • 文件大小：10485760
    • 提供者：weixin_38658982

  1. X射线预电离放电抽运XeCl准分子激光器

  2. 较大口径、较长脉宽放电抽运准分子激光器是XeCl MOPA系统中的重要环节。介绍了一种双放电结构的X射线预电离激光器,在充电电压50 kV,气分比HCl:Xe:Ne＝1:2.5:2000,气室气压3.546×105 Pa的情况下,获得了稳定的激光输出,激光光束大小为4 cm×5 cm,最大能量2 J。实验发现,为获得均匀的体放电,X射线预电离激光介质的时间和主电极间隙被击穿的时间间隔不能超过500 ns。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-13
    • 文件大小：396288
    • 提供者：weixin_38628310

  1. 用于制作光纤布拉格光栅的工业准分子激光器的优化

  2. 用于制作光纤布拉格光栅的工业准分子激光器的优化

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38704786

  1. 能量稳定性极好的高功率准分子激光器

  2. 能量稳定性极好的高功率准分子激光器

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：545792
    • 提供者：weixin_38606300

  1. 准分子激光器平顶高斯激光束的产生

  2. 在XeCl准分子激光器中,采用定向棱镜作为端反射镜与平面输出镜构成激光器共振腔,获得了平顶高斯激光束输出,并具有腔镜高抗失调能力,改善了激光束质量。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：931840
    • 提供者：weixin_38685882
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